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inficon真空計是一種用于測量高真空度區(qū)域內(nèi)的氣體壓力(空氣密度低到低于大氣壓的范圍內(nèi))的儀器。其工作原理基于氣體分子與表面之間的碰撞,以及氣體分子在真空條件下的運(yùn)動特性。
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