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更新時間:2023-07-21
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什么是inficon真空計?真空的含義是指在給定的空間內低于一個大氣壓力的氣體狀態,是一種物理現象。在真空技術里,真空系針對大氣而言,一般指特定空間內部之部份物質被排出,使其壓力小于一個標準大氣壓,則我們通稱此空間為真空或真空狀態。真空常用帕斯卡(Pascal)托爾(Torr)毫巴(mbar)等做為壓力的單位。真空計(VacuumGauge,也稱真空表、真空規管,是測量真空度或低氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業生產中廣泛使用。
按照inficon真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應利用帶電粒子效應的真空計。利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(Bourdon)和電容薄膜規;利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規和熱電偶規、熱傳導規;利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。
壓力測量中,除少數直接測量外,絕大多數是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現象,然后再測量這一過程中與壓力有關的物理量,進而設法確定壓力值。這是真空測量的特點,亦會造成某些問題。inficon真空計是測量低于一個大氣壓力的氣體或蒸氣壓力的儀器。是從真空計本身測得的物理量直接計算出(或得出)壓力的儀器。需經過絕對真空計的校準之后才能進行真空度的測量。任何具體物理現象與壓力的關系,都是在某一壓力范圍內才顯著,超出這個范圍,關系變得弱了。因此,任何方法都有其一定的測量范圍,這個范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程,是真空科學研究的重要內容之一。