一、瑞士Levitronix 公司介紹

瑞士Levitronix成立于2001年，專注于磁懸浮無軸承電機(jī)技術(shù)的產(chǎn)品，其歷史可追溯到上世紀(jì)80年代末和90年代初，瑞士聯(lián)邦理工學(xué)院開發(fā)了磁懸浮無軸承電機(jī)的概念，并后在90年代末進(jìn)行了商業(yè)化。Levitronix作為無軸承泵的先驅(qū)，是一個獲得CE和FDA批準(zhǔn)的磁懸浮血液泵的公司，與其他類型泵相比，無軸承泵可以處理無污染的純流體，用于微電子、生命科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用等，產(chǎn)品范圍包括磁懸浮無軸承泵、混合器、流量傳感器及粘度計(jì)等。Levitronix 具有300多項(xiàng)授權(quán)專利，其專利技術(shù)將電機(jī)和磁性軸承組合成一個單元，從而獲得泵可靠性和長壽命，并用于惡劣環(huán)境中。Levitronix泵是半導(dǎo)體制造中圓晶清潔、金屬電鍍或CMP漿料輸送的標(biāo)準(zhǔn)用泵。是低剪切泵，適合敏感液體及純液體的輸送，用于細(xì)胞疫苗、生物制劑及基因療法等領(lǐng)域。

二、瑞士Levitronix 磁懸浮無軸承泵

Levitronix 磁懸浮無軸承泵按應(yīng)用領(lǐng)域分為，微電子用泵和生物過程用泵，其中微電子領(lǐng)域用的泵包括BPS 超純無軸承泵，抗靜電超純無軸承泵，適合高溫液體的泵以及首代磁懸浮無軸承泵。

1、Levitronix BPS 超純無軸承泵(用于微電子領(lǐng)域)

Levitronix BPS系列是為微電子領(lǐng)域中流體的超純處理過程而設(shè)計(jì)，基于主動磁懸浮，泵葉輪由電機(jī)的磁場懸浮和驅(qū)動，寬的縫隙確保運(yùn)動部件相互之間沒有機(jī)械摩擦，因此沒有軸承磨損和密封件的損壞。葉輪和外殼均由耐化學(xué)腐蝕的高純氟聚合物樹脂制成。流體的流速和壓力通過電子調(diào)節(jié)葉輪速度進(jìn)行準(zhǔn)確控制。其獨(dú)特的優(yōu)勢可提高微電子領(lǐng)域中產(chǎn)品的產(chǎn)量。

BPS 系列采用PTFE的浸濕材料，產(chǎn)品型號有BPS-i30, BPS-i30HP，BPS-i30HF，BPS-i100，BPS-200，BPS-300，BPS-600，BPS-i600，BPS-2000HP，BPS-2000HF，BPS-4000。BPS-i30 max流速為7.4L/min, max 壓差為1.5bar，max 液體溫度為70℃。BPS-4000 max流速為280l/min，max壓差為6.3bar。可根據(jù)具體應(yīng)用需求進(jìn)行泵選擇。

BPS 抗靜電系列采用不銹鋼或含碳纖維的PTFE浸濕材料。泵型號有：BPS-200AS, BPS-600AS(抗靜電), BPS-2000AS(抗靜電高流量)，BPS-600ST(不銹鋼)，BPS-2000ST(不銹鋼高壓)。

BPS 高溫泵采用PTFE浸濕材料，適合高溫液體，型號BPS-4HT，max液體溫度為220℃。BPS 首代無軸泵浸濕材料采用PFA，PTFE，型號有BPS-1，BPS-3，BPS-4。

Levitronix超純無軸承泵用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中，例如大量化學(xué)物質(zhì)的輸送，光化學(xué)處理，濕法蝕刻，清洗，金屬鍍層，CMP 漿液輸送等。

Levitronix BPS 無軸承磁懸浮微電子用泵的特點(diǎn)：

w 葉輪和泵頭外殼間無機(jī)械連接，因此泵無磨損，幾乎無顆粒產(chǎn)生，確保液體的純度。

w 低金屬污染量，顯著低于氣動泵，泵的濕表面積比同液壓功率的氣動泵小幾倍。

w 低剪切設(shè)計(jì)，適合漿料和電鍍液，由于沒有機(jī)械軸承，窄的縫隙及死區(qū)間等，加之光滑濕潤的表明，可以溫和的處理敏感液體。

w 無脈動，其開放式泵頭設(shè)計(jì)、高流量分辨率、離心泵原理和無閥門形成無脈動的流量。

w 寬流量范圍和高可控制，可以實(shí)現(xiàn)寬流量范圍內(nèi)的準(zhǔn)確流量和壓力控制

w 高可靠性，無軸承磨損和無密封損壞，使用壽命長和維護(hù)成本低。

w 高調(diào)低比率，從幾ml /min到大流速都可以保持平穩(wěn)。

w 尺寸比氣動泵小，由于泵和電機(jī)的高度集成，以及無軸承設(shè)計(jì)，占用空間小并可以安裝在密閉空間中。

w 高性能的數(shù)據(jù)采集，適合系統(tǒng)集成，可用于智能制造系統(tǒng)。

w 低噪音和低震動，葉輪和泵殼的磁性聯(lián)軸器幾乎不會產(chǎn)生振動，操作噪音低。

w 集成流量傳感器，將流量傳感器集成到泵系統(tǒng)中，創(chuàng)建反饋回路，便于自動化控制。

2、Levitronix PuraLev磁懸浮無軸泵(適合生物過程)

Levitronix PuraLev系列泵是用于生命科學(xué)領(lǐng)域的磁懸浮無軸泵，PuraLev系列磁懸浮無軸承泵系統(tǒng)用于生物過程中苛刻的流體應(yīng)用，其低的剪切力，無脈動和連續(xù)的流量可獲得高的產(chǎn)品產(chǎn)量。基于磁懸浮的原理，泵葉輪懸浮在無接觸的密封殼內(nèi)，由電機(jī)的磁場驅(qū)動，從而獲得連續(xù)平穩(wěn)的流量。集合了離心泵的優(yōu)點(diǎn)，但避免機(jī)械軸承和密封件損壞的問題。

PuraLev有兩個型號，分為為單次使用的泵，和多次使用泵。單次使用的泵可以更換一次性泵頭，更換簡單快速，僅需幾分鐘。單次使用的低剪切泵型號有PuraLev i30SU, PuraLev i100SU, PuraLev 200SU, PuraLev 600SU, PuraLev 2000SU, 其中PuraLev i30SU max 流量為7.7L/min，max壓差1.0bar，浸濕材料為可生物兼容的PP。PuraLev 2000SU max流量為 140L/min，max壓差4.3bar。多次使用的低剪切泵型號有PuraLev i100MU, PuraLev 200MU, PuraLev 600MU, PuraLev 2000MU, PuraLev 4000MU。其中PuraLev i100MU max 流量為17.4 l/min，max 壓差2.4bar，浸濕材料為可生物兼容的PFA/PVDF。PuraLev 4000MU max流速為200L/min，max壓差為4.6bar，浸濕材料為可生物兼容的PFA/PEEK/不銹鋼。泵頭易于清洗，可就地清洗，就地蒸壓或高壓滅菌。泵頭可配備或不配排水口。

PuraLev 磁懸浮無軸承泵的優(yōu)勢：

w 低剪切設(shè)計(jì)，磁懸浮實(shí)現(xiàn)了無接觸操作和低剪切設(shè)計(jì)，用于溫和泵送細(xì)胞、蛋白、脂質(zhì)體等敏感液體。

w 高純度液體泵，可確保液體的純度。泵的運(yùn)動部件之間無機(jī)械接觸無磨損，可避免顆粒物的生成，從而確保液體的純度。

w 介質(zhì)的安全性，無管道破裂危險，無論液體流路中發(fā)生什么，流動介質(zhì)都是安全的。

w 采用生物兼容的浸濕材料。

w 準(zhǔn)確、穩(wěn)定，可靠的流量，無脈動。

w 適合連續(xù)過程，各個部件不相互接觸，可實(shí)現(xiàn)長時間內(nèi)的液體的穩(wěn)定和安全處理，

w 使用壽命長，無軸承磨損和密封故障，可延長使用壽命和降低維護(hù)成本。

w 小體積，低噪音。

w 高的調(diào)低比率，能夠準(zhǔn)確控制和維持從幾ml/min到大流速的流量。

w 集成的流量和壓力傳感器，形成反饋回路，自動維持流量

w 適用于漿料等，即固體和液體混合物。

三、瑞士Levitronix 磁懸浮無軸承技術(shù)的其他產(chǎn)品

Levitronix 除磁懸浮無軸承泵外，還提供流量控制器、流量傳感器及其他無軸承技術(shù)的產(chǎn)品，可以集成為成套系統(tǒng)提供用戶，其他利用磁懸浮無軸承技術(shù)的產(chǎn)品包括泵罐混合器、磁懸浮晶圓旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、風(fēng)扇和粘度計(jì)，均具有高純度、溫和運(yùn)行、可靠性和壽命長的特點(diǎn)。

Levitronix 提供的流量傳感器有兩種類型，一種為在線超聲波流量傳感器，一種是外夾式超聲波流量傳感器，均是基于超聲波原理的無損/無侵入的高精度流量傳感器，適合超純無污染的液體以及性質(zhì)強(qiáng)烈的化學(xué)品。

四、瑞士Levitronix 磁懸浮無軸承泵及產(chǎn)品的應(yīng)用

Levitronix磁懸浮無軸承技術(shù)的泵及其他產(chǎn)品為苛刻的流體應(yīng)用而設(shè)計(jì)，主要應(yīng)用于生物過程和微電子領(lǐng)域，在這些應(yīng)用中，超純液體和連續(xù)控制的流量將提高產(chǎn)品產(chǎn)量。其中生物過程領(lǐng)域的應(yīng)用有細(xì)胞灌注，深度過濾，快速安全的液體轉(zhuǎn)移，切向流超濾(TFF)等。

無軸承的泵適合敏感細(xì)胞，不損害細(xì)胞，以確保細(xì)胞的活性，從而提高產(chǎn)品產(chǎn)量。而且無管道、隔膜、閥門等損壞的危險，泵的使用壽命和性能無限制，適合確保安全和連續(xù)的生產(chǎn)過程，用于生物制藥等。

隨著微型化和復(fù)雜性的不斷提高，微電子行業(yè)應(yīng)用的工藝要求越來越嚴(yán)格。半導(dǎo)體制造、光伏或LED等領(lǐng)域不同工藝需要大量不同的介質(zhì)。關(guān)鍵工藝過程中介質(zhì)/液體的純度、安全和可靠交付至關(guān)重要。Levitronix在微電子行業(yè)有20多年經(jīng)驗(yàn)，提供超純泵系統(tǒng)、混合泵和流量傳感器，用于大規(guī)模化學(xué)物質(zhì)的輸送，CMP漿料的輸送，圓晶清潔以及半導(dǎo)體的金屬鍍層等。Levitronix無軸承泵因?yàn)闊o機(jī)械軸承幾乎不會產(chǎn)生顆粒，已成為半導(dǎo)體領(lǐng)域超純液體應(yīng)用的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。