公司簡介:
Kleindiek Nanotechnik 公司是德國一家專注于微操縱研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)，有過二十年的行業(yè)經(jīng)歷，生產(chǎn)的顯微操縱系統(tǒng)在同領域處于領導。由主要產(chǎn)品Kleindiek顯微操縱儀（俗稱 Kleindiek機械手Kleindiek機械臂）衍生的多樣性系統(tǒng)和平臺產(chǎn)品與電鏡相結合，為材料與別器件的研究提供多的手段和便利。 Kleindiek Nanotechnik生產(chǎn)的顯微操縱儀MM3A-LS以其易操作、小體積成為膜片鉗工作者的得力助手。MM3A的移動范圍是三維空間的，X、Y軸可作±120°擺動，Z軸可作12mm的伸長，整個空間的移動范圍達到100立方厘米。Kleindiek顯微操縱儀系統(tǒng)驅動由壓電陶瓷來實現(xiàn)，由此Z軸每個步進的精度可達0.25nm，當采用移動模式時，速度可達到2mm/s，大行程設計，使得Z軸總行程可達到12mm，移動精度、厘米的移動范圍是MM3A的特點。
產(chǎn)品系列及特點：
功能到電子顯微鏡以允許在微米和尺度上的物理操縱和表征。 NanoWorkstation是一個系統(tǒng)，可執(zhí)行此類任務，并可集成到大多數(shù)商用SEM和FIB中。
NanoWorkstation使得操控成為工業(yè)和研究實驗室且經(jīng)濟實惠的解決方案，使您在關鍵尺寸現(xiàn)在處于范圍內的世界中保持競爭力。
Kleindiek顯微操縱儀基于模塊的系統(tǒng)具有很高的通用性，換連接在機器人前端的工具，無論是移動，組裝，準備，旋轉，推動，探測，感受，傾聽，Kleindiek顯微操縱儀可以執(zhí)行許多不同的應用 ，抓地力或你可以想象的任務。
Prober Shuttle是我們在7節(jié)點上實現(xiàn)原位電探針的工具 - ！ 為了實現(xiàn)我們對這款產(chǎn)品的愿景，我們開發(fā)了一款具有穩(wěn)定性平面三軸機械手--MM4。 Prober Shuttle可以由多達8個MM4組成，可以選擇扁平的雙軸或三軸分段。
系統(tǒng)的整個為10 mm，使其與SEM負載鎖兼容，從而幫助您實現(xiàn)高的樣品通量。 Prober Shuttle還提供低電流，低容量測量功能，并且兼容探測工具硬件和軟件套件，包括Live Contact Tester和電子束感應電流成像模塊。
德國Kleindiek顯微操縱儀的驅動單元是由壓電陶瓷構成的馬達，因此它特點是能夠進行移動，在移動的同時其設計可以同時做到毫米的移動范圍，整個操縱裝置馬達驅動，從而系統(tǒng)體積小，可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內。 德國Kleindiek Nanotechnik生產(chǎn)的顯微操縱儀有以下型號以適用于不同的環(huán)境： MM3A-LMP Micromanipulator for Light Microscopy MM3A-EM Micromanipulator for Electron Microscopy MM3A-UHV Micromanipulator for UHV MM3A-LT Micromanipulator for low temperature 德國Kleindiek Nanotechnik生產(chǎn)的Kleindiek顯微操縱儀MM3A-EM以其易操作、小體積成為電子顯微鏡用戶的得力助手，改變了電子顯微鏡只用于樣品觀察的傳統(tǒng)，直接在樣品室內操縱樣品，由此衍生了許多豐富多彩的應用，使得對樣品的研究深一步。MM3A的移動范圍是三維空間的，X、Y軸可作±120°擺動，Z軸可作12mm的伸長，整個空間的移動范圍達到100立方厘米。系統(tǒng)驅動由壓電陶瓷來實現(xiàn)，由此Z軸每個步進的精度可達0.5nm，當采用移動模式時，速度可達到2mm/s，可以說是同時兼具了，大行程設計，使得Z軸總行程可達到12mm，移動精度、厘米的移動范圍是MM3A的特點。 MM3A-LS以其高穩(wěn)定性、無漂移的鮮明特性，被應用于生命科學領域的高敏度膜電位測量領域。衍生產(chǎn)品MM3A-LMP與光學顯微鏡的結合，被應用于半導體的探針系統(tǒng)中，可適應45nm、65nm、90nm工藝的要求。 顯微操縱儀的細微的漂移都會影響到細 胞膜電位的測量，這就要求顯微操縱儀盡量能做到漂移，德國Kleindiek Nanotechnik公司生產(chǎn)的MM3A地解決了漂移的問題，既使是長時間的測量也沒有漂移的現(xiàn)象。MM3A體積相對傳統(tǒng)的顯微操縱儀而言小了很多，長度約60mm重約45g，這種設計系統(tǒng)的穩(wěn)定性并了系統(tǒng)噪音水平，震動對MM3A不產(chǎn)生影響。采用磁性基座固定，MM3A可以方便地安裝在載物臺的地方。在操縱儀的前端有叉式的玻璃管夾持器，玻璃管的換簡單易操作。 參數(shù)： MM3A-EM Length / Width / Height 60/22/25 mm Operating range XY / Z 240°/12 mm Scan range X / Y / Z 20/15/1μm Max Speed XY / Z up to 10/ 2 mm/s Resolution X 10-7 rad (5 nm) Resolution Y 10-7 rad (3.5 nm) Resolution Z 0.25 nm Hysterisis deviation Z <200 nm Hysterisis Angle (α) Z <10° (0.2 rad) Lowest temp 273K Highest temp 353K Lowest pressure 10-7 mbar Holding force 1 N Holding torque 3 Nmm - 4 Nmm Lift Y 5g Signal resistance (probing) 7.0Ω Max voltage (probing) 100V Max current (probing) 100 mA  。Kleindiek顯微操縱儀主要特點： 德國Kleindiek Nanotechnik生產(chǎn)的Kleindiek顯微操縱儀的特點： 操縱：安裝在MM3A操縱臂前端的鎢探針在X，Y方向移動距離為5nm，在Z方向移動距離為0.5nm。 快慢可調的操作速度：可以選擇一個步進0.5nm，也可以選擇移動速度1cm/S。MM3A將大范圍和操作地結合在一起。 緊湊的結構設計：MM3A體積小，可以很寬松地在電鏡腔室內安裝1~8個系統(tǒng)。 三維大空間操作范圍：X、Y方向可以做240度的旋轉，Z軸方向做12mm的伸長，MM3A可操作的空間范圍達100cm3。 無漂移：Kleindiek顯微操縱儀曾經(jīng)做過實驗MM3A鎢探針針尖在場發(fā)射電鏡放大100K條件下每隔一分鐘拍一張照片，持續(xù)一小時后通過對照片的分析得出，在電鏡電壓不穩(wěn)定因素外，MM3A不產(chǎn)生漂移。 與電鏡的連接：MM3A安裝在加工好的平臺上，該平臺再固定在電鏡的樣品臺上，整個安放過程方便，幾分鐘就可完成，不使用時將平臺卸下取出既可。控制線通過電鏡腔室上的空法蘭穿出并密封，不會影響電鏡的真空。