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inficon真空計(jì)是一種用于測量高真空度區(qū)域內(nèi)的氣體壓力(空氣密度低到低于大氣壓的范圍內(nèi))的儀器。其工作原理基于氣體分子與表面之間的碰撞,以及氣體分子在真空條件下的運(yùn)動特性。
它的種類很多,這些儀器以不同的原理來工作,例如熱電子與陰極陰離子的流動、大流量吸收、容積測壓與振動方式等。不同的真空計(jì)具有不同的特點(diǎn)和優(yōu)缺點(diǎn),可以根據(jù)實(shí)際需要選擇合適的儀器。
inficon真空計(jì)的基本原理:
包括兩個電極,其中一個電極為陽極(陰極射線管或電子槍),另一個電極為陰極(接收器)。當(dāng)加上高壓電源后,陽極會發(fā)射出電子束,經(jīng)過真空區(qū)域時(shí)與氣體分子發(fā)生碰撞,使其電離并生成電子離子對。這些離子對在電場的驅(qū)動下運(yùn)動,并在陰極表面產(chǎn)生電流。
采用不同的電極結(jié)構(gòu)和電路設(shè)計(jì),真空計(jì)可以實(shí)現(xiàn)不同的測量范圍和靈敏度。其中,熱陰極真空計(jì)利用熱電子發(fā)射的原理,在真空區(qū)域中產(chǎn)生電子,并通過電子與氣體分子的碰撞計(jì)算氣體壓力;而冷陰極真空計(jì)則通過陰極表面的氣體吸附和解吸來測量氣壓,其靈敏度比熱陰極真空計(jì)高,適用于更廣泛的測量范圍。
總之,inficon真空計(jì)在許多應(yīng)用中都有廣泛的應(yīng)用,例如太陽能電池、微電子領(lǐng)域的材料研究、半導(dǎo)體加工廠和航空制造廠等。不同的真空計(jì)具有不同的測量范圍、體積、靈敏度等特點(diǎn)。因此在選擇和使用真空計(jì)時(shí),需要根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行評估,以選擇最適合的儀器。
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